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高纯氮气的生成与用途体现在哪些方面

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高纯氮气的生成与用途体现在哪些方面

发布日期:2019-01-16 作者: 点击:

氮气的使用在生活中是很常见的,我们大家熟知的汽车轮胎气体一般都会用氮气来填充,高纯氮气的使用与生成具体体现在什么方面呢,我们可以一起来了解一下:


高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。


高纯氮气现场生产装置采用低温工艺流程,生产过程中将有冷量损失,有的高纯氮气生产装置为此配备了气体膨胀机产生低温以补偿冷量损失;有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程,但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机,取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。


这种无膨胀机的高纯氮气生产装置因减少了机械故障而提高了装置运行的可靠性。无膨胀机的高纯氮气生产装置的液氮补充量约占高纯氮气产量的3%左右 整套高纯氮气现场生产装置除了空气压缩机、热部、冷箱之外,还有一个重要的部分即液氮(或高纯液氮)系统。这个液氮(或高纯液氮)系统有三个功能;可补偿生产过程中的冷损;用气量的调峰,氮气生产装置停机是产品气的备用。

高纯氮气


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