工业混合气体
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高纯气体

2022-08-04
高纯气体
详细介绍:

高纯气体

高纯气体通常指用提纯技术能达到的等级纯度的气体。

高纯气体分为有机高纯气体和无机高纯气体。常用的高纯气体包括高纯氮、高纯氦、高纯氩、高纯氢、高纯氧高纯二氧化碳、高纯甲烷、高纯一氧化碳、高纯乙炔等。

高纯气体技术参数

气体名称

化学式

规格(%)

杂质(⁻⁶)

高纯氦

He

99.999%

O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3

高纯氩气 

Ar

99.999%

O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4

高纯氢气

H2

99.999%

O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1

高纯氮气 

N2

99.999%

O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3

高纯二氧化碳

CO2

99.999%

O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1


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